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半导体设备
行业解决方案半导体设备

BUPERMANN：用于半导体设备的行星减速机

半导体加工领域，实践证明半导体生产设备对螺旋伞齿轮精密伺服减速器要求非常苛刻。

追求高强度、高精度、直角转向、高负载能力和刚性。

BUPERMANN通过与客户紧密合作，我们的产品得到了持续的改进。

BUPERMANN90度直角伺服减速器在半导体行业领域的应用优势，能够按照具体需求提供标准产品，进行个性化配置，运行可靠、精确的解决方案。

半导体设备应用需求

半导体设备高精度定位、高减速比、90度换向等应用，要求螺旋伞齿轮减速机拥有高减速比的情况且精度高。

我们有适用于半导体设备的减速机：

BPGV系列AGV专用减速器

BPGV系列AGV专用减速器

  • 减速比

    15-100

  • 额定扭矩

    45-330 Nm

  • 回程间隙

    3-8 arcmin

  • 输入转数

    3000-6000 rpm

  • 径向力

    2250-5500 N

结构尺寸

60 90 120

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选型工具
BPT系列伺服转向器

BPT系列伺服转向器

  • 减速比

    1-5

  • 额定扭矩

    12-3200 Nm

  • 回程间隙

    6 arcmin

  • 输入转数

    1700-7500 rpm

  • 径向力

    900-18000 N

结构尺寸

65 75 90 110 140 170 210 240 280

查看产品

选型工具
BPTA系列伺服转向器

BPTA系列伺服转向器

  • 减速比

    1

  • 额定扭矩

    20-900 Nm

  • 回程间隙

    10 arcmin

  • 输入转数

    1000-2000 rpm

  • 径向力

    1100-19500 N

结构尺寸

45 70 85 105 125 150 180

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选型工具
BPTS系列高精密伺服转向器

BPTS系列高精密伺服转向器

  • 减速比

    2-5

  • 额定扭矩

    9.5-1200 Nm

  • 回程间隙

    6 arcmin

  • 输入转数

    1000-2000 rpm

  • 径向力

    1100-24100 N

结构尺寸

45 70 80 110 135 165 200B

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选型工具
BPTAW系列直角行星减速器

BPTAW系列直角行星减速器

  • 减速比

    3-100

  • 额定扭矩

    13-1200 Nm

  • 回程间隙

    3-10 arcmin

  • 输入转数

    2000-3000 rpm

  • 径向力

    1100-19500 N

结构尺寸

45 70 85 105 125 150 180

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选型工具
BPTSM系列高精密伺服直角减速机

BPTSM系列高精密伺服直角减速机

  • 减速比

    2-10

  • 额定扭矩

    9.5-2150 Nm

  • 回程间隙

    4-6 arcmin

  • 输入转数

    2000 rpm

  • 径向力

    1100-45000 N

结构尺寸

45 70 80 110 135 165 200B 250

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选型工具
BPTSW系列高精密伺服直角减速器

BPTSW系列高精密伺服直角减速器

  • 减速比

    6-300

  • 额定扭矩

    9.5-2150 Nm

  • 回程间隙

    3-10 arcmin

  • 输入转数

    2000-4500 rpm

  • 径向力

    1100-45000 N

结构尺寸

45 70 80 110 135 165 200 250

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选型工具
BPHN系列中空旋转平台

BPHN系列中空旋转平台

  • 减速比

    10-180

  • 额定扭矩

    5-650 Nm

  • 回程间隙

    ≤1 arcmin arcmin

  • 输入转数

    ≤20 arcsec rpm

  • 径向力

    30-800 Kg N

结构尺寸

60 85 110 130 170 200 280 370 450 680

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